Lehrstühle

		Anwendungsentwicklung Prof. Dr. Roland Zengerle			Aufbau und Verbindungstechnik Prof. Dr.-Ing. Jürgen Wilde
		Bio- und Nano-Photonik Prof. Dr. Alexander Rohrbach			Biomedizinische Mikrotechnik Prof. Dr. Thomas Stieglitz
		Biomikrotechnik Prof. Dr. Ulrich Egert			Chemie und Physik der Grenzflächen Prof. Dr. Jürgen Rühe
		Elektrische Mess- und Prüfverfahren Prof. Dr. Leonhard Michael Reindl			Fritz Hüttinger Professur für Mikroelektronik Prof. Dr.-Ing. Yiannos Manoli
		Konstruktion von Mikrosystemen Prof. Dr. Peter Woias			Materialien der Mikrosystemtechnik Prof. Dr. Oliver Paul
		Mikroaktorik Prof. Dr. Ulrike Wallrabe			Mikrooptik Prof. Dr. Hans Zappe
		Nanotechnologie Prof. Dr. Margit Zacharias			Optische Systeme Prof. Dr. Karsten Buse
		Optoelektronik Prof. Dr. Ulrich Schwarz			Prozesstechnologie Prof. Dr. Holger Reinecke
		Sensoren Prof. Dr. Gerald Urban			Simulation Prof. Dr. Gerald Urban
		Systemtheorie Prof. Dr. Gerald Urban			Verbindungshalbleiter Mikrosysteme Prof. Dr. Oliver Ambacher
		Werkstoffprozesstechnik Prof. Dr. Thomas Hanemann