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Projektübersicht

VIM-IMVT

Projektbeschreibung

In Zusammenarbeit mit Kollegen des Instituts für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) des Forschungszentrums Karlsruhe entwickeln und fertigen wir im Rahmen des Virtuellen Instituts für Mikrosystemtechnik (VIM) einen Testchip zur Messung der lokalen Temperaturverteilung in Mikroreaktoren. Die resistiven und thermoelektrischen Temperatursensor sind hierbei in dünnen Membranen implementiert, die in Silizium-Chips integriert sind. Die Chips erlauben es, den Wärmetransport von Gasen in Mirokanälen zu untersuchen.

Laufzeit

01.02.2010 bis 31.07.2010

Projektleitung

Prof. Dr. Oliver Paul

Ansprechpartner/in

Prof. Dr. Oliver Paul
Telefon:+497612037191

Finanzierung

Karlsruher Institut für Technologie
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