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Projektübersicht

Teststrukturen für Epipoly-Schichten

Projektbeschreibung

Wir entwickelt und fertigen MEMS-basierte Teststrukturen zur mechanischen Charakterisierung von dünnen Polysiliziumfilmen mit Hilfe eines Mikrozugversuchs.

Laufzeit

18.08.2006 bis 15.11.2008

Projektleitung

Prof. Dr. Oliver Paul

Ansprechpartner/in

Prof. Dr. Oliver Paul
Telefon:+49 761 203 7191

Finanzierung

Robert Bosch GmbH
Benutzerspezifische Werkzeuge