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Projektübersicht

Fertigungsprozesse zur Bestimmung von bruchmechanischen Eigenschaften dünner Polysiliziumschichten

Projektbeschreibung

Aufbauend auf unserem Wafer-basierten Mikrozugversuch realisieren wir MEMS-Strukturen zur Ermittlung der bruchmechanischen Eigenschaften dünner Polyisiliziumschichten, die in einem Niederdruck-Gasphasen-Abscheideprozess auf Siliziumwafern aufgebracht und mittels reaktivem Ionenätzens strukturiert wurden.

Laufzeit

14.12.2010 bis 15.03.2011

Projektleitung

Prof. Dr. Oliver Paul

Ansprechpartner/in

Prof. Dr. Oliver Paul
Telefon:+49 761 203 7190

Finanzierung

Nagoya Institute of Technology (NIT), Japan
Benutzerspezifische Werkzeuge