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Projektübersicht

Charakterisierung von Dünnfilm-Materialien

Projektbeschreibung

Wir untersuchen das mechanische Verhalten von dielektrischen Dünnfilm-Schichten, die in MEMS- und CMOS-Technologien zum Einsatz kommen, mit Hilfe eines Wafer-basierten Bulge-Tests.

Laufzeit

01.08.2006 bis 31.07.2007

Projektleitung

Prof. Dr. Oliver Paul

Ansprechpartner/in

Prof. Dr. Oliver Paul
Telefon:+49 761 203 7191

Finanzierung

infineon Technologies AG
Benutzerspezifische Werkzeuge