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Projektübersicht

3D-Kraftsensoren

Projektbeschreibung

Wir entwickeln und fertigen 3D-Kraftsensoren auf Basis von mikromechanischen Kreuzstrukturen, die über Membrangelenke in einem Siliziumrahmen aufgehängt sind. Auf den Kreuzstrukturen sind Taststifte mit Saphirkugeln aufgebracht, die zur mechanischen Vermessungen von Mikrokomponenten verwendet werden. Piezoresistive Siliziumsensoren, die in den Membranen integriert sind, ermöglichen es, eine mechanische Deformation der Kreuzstruktur hervorgerufen durch den Antastvorgang, zu ermitteln. Die MEMS-basierten 3D Kraftsensoren kommen in Koordinatenmesssystemen der Firma ZEISS, Oberkochen, Deutschland, zum Einsatz.

Laufzeit

01.02.2008 bis 31.08.2011

Projektleitung

Prof. Dr. Oliver Paul

Ansprechpartner/in

Prof. Dr. Oliver Paul
Telefon:+49 761 203 7191

Finanzierung

Carl Zeiss GmbH
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