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Projektübersicht

Modellbaukasten für die Simulation modularer Mikrosysteme – SIMOD

Projektbeschreibung

In der Arbeitsgruppe Sensorhäusung innerhalb des SIMOD-Projektes wird am Beispiel von Hallsensoren der Firma Micronas der Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf das Sensorverhalten untersucht. Sensoren bestehen neben dem Sensorelement aus einer Reihe von Materialien die zum Schutz und zur Kontaktierung des Sensorelements dienen. Die nichtlinearen Eigenschaften der Materialien wirken sich auf das Offset- und Empfindlichkeitsverhalten des Bauelements aus. Während des Herstellungsprozesses und im Betrieb entstehen thermomechanische Spannungen im Gehäuse und somit im Sensor. Dies führt zu einer Drift der Offsetspannung und der Empfindlichkeit der Sensoren in Abhängigkeit von der Temperatur. Die Charakterisierung dieses Verhaltens ist Grundlage für eine Simulation des Systemverhaltens und die Berücksichtigung in der Entwurfsphase von Mikrosystemen. Entscheidenden Einfluss auf die mechanischen Spannungen im Hallsensor haben die temperaturabhängigen, nichtlinearen Eigenschaften der Pressmasse. Diese wurden in zahlreichen Messungen bestimmt und in den durchgeführten FEM-Simulationen verwendet.

Laufzeit

01.11.2002 bis 30.04.2006

Projektleitung

Wilde J
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