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Projektübersicht

Gewellte mikroelektronische mechanische Systeme (CoMEMs)

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Projektbeschreibung

Mechanische Schwingungen sind eine der häufigsten Energiequellen in unserer Umgebung, was die Entwicklung energiewandelnder mikromechanischer Bauelemente stimulieren. Die Wandlung von natürlichen ultra-niedrig Frequenzen über den piezoelektrischen Effekt in elektrischen Strom ist jedoch eine anspruchsvolle Aufgabe. Dies ist hauptsächlich bedingt durch eine niedrige elektromechanische Kopplung von konventionellen Resonatorsystemen an niederfrequente Schwingungen. Deshalb ist die Entwicklung und Untersuchung von neuen Typen nicht-resonanter Schwinger, die auf gewellten Mikrostrukturen basieren, ein Hauptziel von CoMEMS. Diese Mikrostrukturen können durch ihre Geometrie und durch ihre Verspannung im Hinblick auf eine verbesserte Wandlungseffizienz optimiert werden. Im Rahmen des Projekts werden gewellte Mikrostrukturen prozessiert, um deren dynamische Parameter, die Energiegewinnung als Funktion von Geometrie, strukturellen Eigenschaften, und Kompositions- sowie Spannungsprofile der Bauelemente zu analysieren und zu optimieren. Die erwarteten Ergebnisse werden den Weg für Mikrosystem-basierte Baugruppen ebnen, die mechanische Vibrationen effizient in elektrische Energie umwandeln können.

Laufzeit

01.06.2012 bis 01.06.2015

Projektleitung

Prof. Dr. Oliver Ambacher

Ansprechpartner/in

Prof. Dr. Oliver Ambacher
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