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Projektübersicht

Realisierung von neuartigen, elektrisch steuerbaren Hochfrequenzkomponenten auf Basis keramischer Schichten durch elektrophoretische Abscheidung (EPD)

Projektbeschreibung

Steuerbare dielektrische Schichten für abstimmbare HF-Komponenten können zum einen mittels klasssicher Dünnschichttechnologie mit Dicken üblicherweise unter 400nm oder mittels klassischer Siebdrucktechnik als Dickschichten mit Dicken typischerweise über 2000nm hergestellt werden. Es existiert somit eine „Schichtdickenlücke“ in der realisierbaren Schichtdicke, die jedoch für viele Anwendungen mitten im Zielkorridor für eine Optimierung der unterschiedlichen, teilweise disjunktiven Anforderungen wie hohe Güte und hohe Steuerbarkeit bei möglichst niedrigen Steuerspannungen liegt. Die elektrophoretische Abscheidung (EPD), als eine einfache und preiswerte Abscheidemethode mit der Möglichkeit dielektrische 2½DStrukturen mit hoher lateraler und vertikaler Auflösung in komplexen Schaltungen zu implementieren bietet gegenüber der klassischen Dünn- und Dickschichttechnik den Vorteil, dass es hiermit möglich ist, die Vorteile der Dickschichttechnik (hohe Linearität und Leistungsverträglichkeit) weitgehend mit den Vorteilen der Dünnschichttechnik (hohe Steuerbarkeiten bei geringen Steuerspannungen) zu kombinieren. In der vergangenen Projektphase konnte prinzipiell gezeigt werden, dass diese „Lücke“ mittels EPD bereits teilweise geschlossen werden kann. Basierend auf den in der ersten Projektphase gewonnenen Erkenntnissen sollen in der zweiten Projektphase der entwickelte EPD-Prozess optimiert und die genannten Vorteile in Anwendungsszenarien umgesetzt und untersucht werden.

Laufzeit

01.01.2012 bis 31.12.2013

Projektleitung

Paul F

Ansprechpartner/in

Paul F
Telefon:0761-203-7553

Kooperationspartner

Rolf Jakoby, Prof. Dr.-Ing. Technische Universität Darmstadt, Institut für Mikrowellentechnik und Photonik, Fachgebiet Mikrowellentechnik (MWT) Merckstr. 25, 64283 Darmstadt E-Mail: jakoby@imp.tu-darmstadt.de

Finanzierung

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Schlagworte

Steuerbare Dielektrika, tunable dielectrics
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