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Projektübersicht

Hochpräzisions-Sensor zur Positionsbestimmung von AFM-Messköpfen

Projektbild

Projektbeschreibung

This project, completed in 2012, concerned the design and demonstration of novel optical methods for extremely high precision measurement of mechanical displacement. Accuracy in the single nanometer range over long measurement distances was achieved.

Laufzeit

01.05.2011 bis 30.04.2012

Projektleitung

Prof. Dr. Hans Zappe

Ansprechpartner/in

Dr. Andreas Seifert
Telefon:7560

Kooperationspartner

Nanosurf AG (CH)
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