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Projektübersicht

ELSA Grind - ELID unterstütztes Schleifen dünner, mikrostrukturierter Saphir-Wafer; Simulation, Design, Entwurf und Mikrostrukturierung akustischer transversal polarisierter Scherwellenresonatoren auf ELID-prozessierten Saphir-Wafer

Projektbeschreibung

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Laufzeit

01.12.2007 bis 30.11.2009

Projektleitung

Leonhard Reindl

Ansprechpartner/in

Leonhard Reindl
Telefon:0761 203 7221

Kooperationspartner

Azzurro Semiconductors AG Magdeburg,G&N GmbH Erlangen, FH Deggendorf

Finanzierung

Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen e. V. (AiF)
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