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Projektübersicht

Porentwicklung in Metallassistiert, chemisch geätztem (MACE) porösem Silizium

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Projektbeschreibung

The project is focused on a deeper understanding of catalyst migration and pore evolution in metal-assisted-chemically etched (MACE) porous Si by Atomic Layer Deposition-Fill-Etch-Imaging (AFEI).

Laufzeit

01.05.2014 bis 01.05.2017

Projektleitung

Zacharias M

Ansprechpartner/in

Zacharias M
Telefon:0761 203-7421

Schlagworte

Nano, Nanotechnology, Materials, Nanomaterials, Nanostructures, Silicon, Metal, Etching, Porous Silicon, Atomic Layer Deposition
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