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Projektübersicht

Verfahrensentwicklung zur Mikrospritzgussabformung von Si-Formeinsätzen mit mikrotechnisch hergestellten 3D-Profilen (MISS3D)

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Projektbeschreibung

Ziel dieses Projektes, das von der Hochschule Furtwangen koordiniert wird, ist die Entwicklung und industrienahe Erprobung eines neuartigen Verfahrens zur Mikrospritzgußabformung. Es sollen mit diesem neuen Verfahren vor allem KMU in die Lage versetzt werden, ohne Investition in teuren Formenbau Mikrosysteme in Spritzgußtechnik herzustellen. Kern der neuen Technik ist ein steuerbares elektrochemisches Ätzverfahren für Silizium. Durch den Einsatz spezieller Maskierungstechniken und die Ausbildung geeigneter Elektroden auf Oberseite und Unterseite eines Siliziumwafers wird das Tiefenprofil des elektrochemischen Ätzprozesses gezielt beeinflusst. Im Ergebnis entstehen 3D-Freiformflächen, die als Formeinsätze, z.B. für das Mikrospritzen asphärischer Linsen, verwendet werden können. Am Lehrstuhl wird der elektrochemische Ätzprozess mittels numerischer Simulation modelliert, als Ausgangsbasis für die Realisierung eines automatisierten Layoutgenerators. Ein Abgleich der Simulationsmodelle mit xperimentellen Daten erfolgt anhand von Messdaten der Kooperationspartner, sowohl an Mikroformeinsätzen aus Silizium als auch an Mikrospritzgußteilen.

Laufzeit

01.01.2007 bis 31.08.2009

Projektleitung

Prof. Dr. Peter Woias

Ansprechpartner/in

Prof. Dr. Peter Woias
Telefon:0761/203-7490

Kooperationspartner

Prof. Burr (Hochschule Heilbronn), Professor Meschede (Hochschule Furtwangen), Ernst Reiner GmbH & Co. KG (Furtwangen), hartec GmbH (Stetten am kalten Markt), MicroFAB Bremen GmbH (Bremen), Walter Söhner GmbH & Co. KG (Schwaigern), Henke-Sass, Wolf GmbH, (Tuttlingen)

Schlagworte

Mikrospritzguß, Mikroformeinsatz, 3D-Freiformflächen, elektrochemisches Ätzen
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