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Projektübersicht

CTR

Projektbeschreibung

Das wesentliche Ziel ist die Konzeption, Modellierung und Darstellung von Systemen mit OFW-Bauelementen zur Druckmessung bei hohen Temperaturen. Als ein Teilziel wird dabei eine Technologie zur Sensormontage angesehen, welche hohe Empfindlichkeit, geringe Messunsicherheit für das Nutzsignal Druck und zugleich geringste Querempfindlichkeiten gegenüber parasitären Einflüssen wie der Temperatur ermöglicht. Ein weiteres Teilziel ist die Gasdichte Verkapselung, welche ebenfalls rückwirkungsfrei und langzeitdicht sein sollte. Die Methodenentwicklung dazu umfasst die modellbasierte konstruktive Gestaltung, Materialauswahl und Auslegung sowie Anpassung der Fertigungsprozesse, insbesondere der Bondverfahren. Wichtige weitere Teilziele sind der experimentelle Nachweis der Eigenschaften und die Verifikation der modellbasierten Optimierung. Die wissenschaftlichen Ergebnisse sollen somit die Grundlage für eine spätere ingenieurmäßige Auslegung neuer drahtloser Drucksensoren zum Einsatz in extrem rauen Umgebungen bilden. Hierdurch können neue Anwendungen insbesondere in der chemischen und thermischen Prozesstechnik erschlossen werden.

Laufzeit

01.01.2015 bis 31.12.2018

Projektleitung

Wilde J
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