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Projektübersicht

Chip-integrierte Flüstergalerieresonatoren aus Lithiumniobat

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Projektbeschreibung

Optische Frequenzkonverter aus kristallinen Flüstergalerieresonatoren werden üblicherweise auf einer Drehbank hergestellt mit einer abschließenden Politur per Hand. Für industrielle Anwendungen ist dieses Verfahren jedoch nicht geeignet, da jeder Resonator individuell gefertigt wird. Außerdem gelingt es so nur schwer, zu Durchmessern unter 100 µm vorzudringen. Bisherige Versuche, automatisierte Herstellungsverfahren aus der Mikro-Halbleitertechnik auf Lithiumniobatkristalle zu übertragen führten zu Gütewerten, die um mehrere Größenordnungen unter denen liegen, die mit einer Politur per Hand erreicht werden. In diesem Kooperationsprojekt mit dem Lehrstuhl für Mikrooptik am IMTEK wird ein neuer Ansatz erprobt. Eine Chromschicht auf der Oberseite der Mikrostruktur schützt den Lichtwellenleiter beim abschließenden automatisierten Polierprozess. Während des Polierens wird die Chromschicht abgetragen und gleichzeitig die Rauheit der Seitenwand der lichtleitenden Struktur deutlich verringert. So können hunderte Resonatoren hoher Güte gleichzeitig und automatisiert auf einem Chip hergestellt werden.

Laufzeit

01.01.2014 bis 31.12.2018

Projektleitung

Buse K

Ansprechpartner/in

Breunig I

Kooperationspartner

Gisela-und-Erwin-Sick-Professur für Mikrooptik

Finanzierung

Gisela-und-Erwin-Sick-Stiftung
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