Projekte
Porentwicklung in Metallassistiert, chemisch geätztem (MACE) porösem Silizium
Projektbeschreibung
The project is focused on a deeper understanding of catalyst migration and pore evolution in metal-assisted-chemically etched (MACE) porous Si by Atomic Layer Deposition-Fill-Etch-Imaging (AFEI).
Laufzeit
01.05.2014 bis 31.12.2018
Projektleitung
Zacharias M
Ansprechpartner/in
Zacharias M
Telefon:0761 203-7421
E-Mail:zacharias@imtek.de
Schlagworte
Nano, Nanotechnology, Materials, Nanomaterials, Nanostructures, Silicon, Metal, Etching, Porous Silicon, Atomic Layer Deposition