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Reinraum Service Center (RSC)

Waferboot_AusschnittDas Reinraum Service Center ist eine gemeinsame Institution der Professuren am IMTEK. Als zentrale Serviceeinheit mit eigenem Personal bietet es Dienstleistungen im Bereich der Mikrosystemtechnik (MST) an. In Verbindung mit den Ressourcen des IMTEK ist das RSC in der einmaligen Lage, seine internen und externen Kunden effizient und zielgerichtet auf breiter Basis zu unterstützen.

Die Kernkompetenzen des RSC sind vielfältig:

  • Durchführung von Standardprozessen der Silizium-Halbleitertechnologie (Foundry Services)

  • Anpassung vorhandener Prozesse auf die Erfordernisse der MST bzw. Entwicklung neuer Prozesse

  • Bereitstellung und Betrieb des vorhandenen Anlagenparks inklusive der notwendigen Infrastruktur - auch für die Nutzung durch Dritte

  • Entwicklung, Beschaffung und Implementierung neuer Anlagen

  • Bereitstellung von Reinraumfläche zur Installation von Fremdgeräten

  • Organisation und Betreuung von Ausbildungsveranstaltungen (Praktika) für Studenten und Fremdpersonal

 

Schwerpunkt der Arbeiten im IMTEK Reinraum ist die Entwicklung von Funktionsmustern von Mikrosystemen für den traditionellen MEMS Bereich mit Anwendungen, die von der Sensorik und Mikroaktorik bis hin zur Mikrooptik reichen. Die Kooperation mit dem Kunden/Partner steht dabei im Mittelpunkt: Entweder als Unterauftragnehmer in Projekten, als selbstständiger Projektpartner oder als direkter Auftragnehmer für externe Firmen. Ein modernes Finanzmanagement stellt die Finanzierung des RSC sicher: Interne und externe Dienstleistungsvergütungen tragen den laufenden Betrieb. Durch ein regelmäßiges Controlling werden die Gesellschafter – also die einzelnen Professuren – ständig über die finanzielle Entwicklung des RSC informiert.

 

Dienstleistungen – Der Kunde ist König

 
Regelmäßige Treffen dienen als Austausch-Plattform über den Status des IMTEK-Reinraums sowie über anstehende Arbeiten. Gleichzeitig wird so der Kontakt zu den einzelnen Abteilungen am IMTEK garantiert. Kostenerfassung und -abrechnung sowie Prozessablaufplanung (WebFab) komplettieren das Angebot und machen das RSC zum verlässlichen Partner für die Forschung und Industrie.
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